【即時新聞】揭密輝達AI晶片造王者，ASML這台2.5億美元EUV機台如何稱霸半導體界

ASML(ASML)目前已躍升為歐洲市值最高的科技公司，這歸功於其在曝光機（lithography systems）製造領域的絕對統治地位。這類被稱為「晶片印表機」的巨型設備每台造價高達2.5億美元，對於推動人工智慧(AI)繁榮的科技公司來說至關重要。ASML(ASML)壟斷了極紫外光（EUV）曝光機的市場，這是製造最先進半導體不可或缺的設備。隨著AI技術的快速進步及全球資料中心的大規模建置，市場對先進晶片的需求激增，這也使得為輝達(NVDA)代工的台積電(TSM)及其他AI晶片製造商，成為ASML(ASML)最重要的業務來源。

結合雷射與磁浮技術的150噸校車級巨獸

這些EUV曝光機體型龐大，大小相當於一輛校車，重量達150噸。機器內部運作極為精密，利用雷射、反射鏡和磁鐵組成的複雜系統，將微細電路「寫入」晶片生產所需的矽晶圓上。這些設備能以無與倫比的精確度，將光圖案投射到矽晶圓上，每片晶圓可能包含上百顆AI晶片。EUV光的波長僅為13奈米，相比之下，人類頭髮的厚度約為8萬到10萬奈米。比利時微電子研究中心（IMEC）執行長Luc Van den Hove指出，這些與ASML(ASML)共同開發的技術提供了先進晶片製造，特別是AI晶片所依賴的「圖案化精度、可擴展性和能源效率」。

德國頂尖光學工藝打造每秒5萬次雷射轟擊

為了產生極紫外光（EUV），機器內部需要進行極端物理操作。德國工業大廠Trumpf製造的雷射系統，是目前世界上最強大的雷射之一，以每秒5萬次的頻率轟擊錫滴。隨後，由德國光學系統製造商蔡司（Zeiss）製造的一套反射鏡系統負責引導光線進入機器核心。這些反射鏡置於真空環境中，其表面比太空望遠鏡使用的鏡面還要平滑。而在晶圓承載台部分，則採用磁浮技術，能以每秒70到80公尺的速度進行加速和減速移動，確保製程的高效運作。

動用波音747專機運送至台積電與三星等大廠

ASML(ASML)的EUV曝光機在荷蘭組裝完成後，物流過程同樣浩大。每台機器需拆解裝入約40個貨櫃，並動用波音747貨機運送至全球各地的晶圓廠。主要的接收客戶包括為輝達(NVDA)生產晶片的台灣台積電(TSM)，以及韓國的三星電子和SK海力士、美國的Intel(INTC)與Micron(MU)，還有日本的Rapidus。根據統計，ASML(ASML)去年共出貨了44台此類系統，分析師預測，隨著半導體製程演進，市場在2026年和2027年將需要更大幅度的設備增長。