本益比僅 12 倍的台灣真空設備龍頭日揚 (6208):台南樹谷園區新廠啟用，有望提升整體營運效能

股人阿勳

2023-08-26 07:51

更新：2023-08-26 07:51

5,296

台南樹谷園區新廠啟用，有望提升整體營運

日揚我在 2020 年初時寫過，當時股價才 25.7 元，隨後最高曾漲超過 63 元，漲幅超過 150%，目前價格為 51 元，仍有 130% 累積報酬。

日揚成立於 1997 年，為真空技術設備的製造商和真空領域全方位整合服務供應商，近年除累積技術能量外，也透過收購包括 dry pump 維修商夏諾科技、設備代理商實密科技，以及專精微波、電漿製程及電源供應器相關技術的立盈科技，期能擴大營運版圖。

公司旗下台南樹谷新廠已經於 6/9 啟用，該廠將打造成營運、製造中心，並導入智慧製造，可望進一步提高生產效率及充實研發能量，未來營運有機會更上一層樓。

2022~2026 半導體研發支出複合成長率 5.5%

儘管 2023 年起，半導體供應商的研發支出出現疲軟，但根據 IC Insights 的資料，預計在 2022 年至 2026 年間，全球半導體公司的研發總支出將以 5.5%的複合年增長率(CAGR)成長至 1086 億美元，整個產業長期仍呈現穩健成長趨勢，這對半導體真空設備廠日揚 (6208) 來說是長期營運利多。

日揚 (6208)

真空技術零件的整合製造商

Htc 日揚真空成立於 1997 年，早期以代理半導體產品起家，之後則聚焦在真空領域上，是少數真空技術設備的製造商，以真空鍍膜技術應用於生活、3C產品、半導體、光電、觸控面板產業、太陽能光伏產業等。

2000 年台灣半導體起飛，當時日揚還只是一間小公司，但由於台灣在那個時代的半導體才剛起飛，因此也沒有什麼太大型的半導體代理商，這個時代背景給了日揚很大的機會，取得了當時幫浦的領導廠商，日本 Edwards 公司的親賴，在台灣獨家代理其 Turbo Pump 產品，而這項收入也成了日揚主要的經濟命脈，有了這個穩定的資金來源後，日揚更進一步擴展到服務與維修，更在之後投入半導體領域外的真空應用，使其產品更加多元化。

公司 2020 年開始投資子公司，增加期業務內容與整合能力，包括:

【明遠精密科技】: 半導體設備之功率源及副系統維修服務及買賣。
【立盈科技】: 精密微波產品研發製造及維修和半導體/光電廠服務及高功率電源供應器技術。
【德揚科技】：零組件清洗及貴金屬回收。

高技術高資本進入障礙

真空設備是半導體製造重要環節，因為晶圓需要在真空環境下，透過釋放出各式各樣的氣體，進行蝕刻、鍍膜。

目前大陸有許多低價真空設備廠，但精度與品質都不達高階製程要求，日揚則捨棄這個領域，專注在研發高階製程所需的真空設備，所以現今已是各個國際大廠的供應鏈，建立了屬於自己的進入門檻。

日揚不僅僅是賣產品

除了真空設備銷售外，公司還針對需要改善真空設備的廠商，提出技術性的整合服務，甚至到定時的維修 & 定期的清潔，讓客戶只要有真空方面的問題，就會想到日揚，而日揚就能幫他解決問題，就好像你想到五金雜貨，就會想到小北百貨一樣，因為那裡一定會有自己需要的五金用品，而目前在真空的領域上，在亞洲還沒有廠商有日揚這種實力，目前在國內僅有兩家競爭廠商，友威科 3580 、翔名 8091，而從品項與財務數據來看，都遠遠不及日揚，加上台灣是世界半導體的聚落，日揚具有在地優勢，因此國際競爭者在服務速度上，也一定不會有日揚來的及時。

真正的優勢在「服務」

日揚在產品代理方面，取得美國生化清潔液大廠 Biozone 兩岸代理權，代理產品為清潔液，另也取得 Edwards Japan 的 Turbo Pump產品，並為國內獨家代理商。

但日揚的競爭優勢其實不是產品，雖然也有銷售自己製造的產品，但說起技術，比上歐美日大廠，可能還有一大段差距，日揚真正的優勢其實在「服務」。

一座月產能 4 萬片規模的晶圓廠，至少需要 1500 台真空相關設備，Ex. 抽空氣的渦輪泵、微塵洗滌器，這些設備每年需要1~2 次不等的維修，而且拆真空設備的幫浦、管線回去維修洗滌，必須把備品馬上裝上去，讓製程繼續運轉，特別是產能滿載的公司，更須如此。

日揚的大客戶是台積電 (營收 2X%以上)，台積電要求日揚，真空系統設備要在潔淨室裡面組裝，全世界大概只有日揚做得到，日揚表示 : 「比起愛德華先進科技等原廠，具備更強的服務實力，我們經過台積電的訓練，是唯一有先進製程經驗的（真空系統）供應商。」

除此之外，日揚還提供 24hr 的維修服務，只要廠商的機器出問題，日揚就能馬上配人去維修，這是國外廠絕對無法做到的。

主要產品

為何半導體需要真空技術?

真空技術其實是一個很古老的技術，與顯微鏡同樣發跡於 17 世紀，比較日常的應用包含 :

你的馬桶吸盤 (力量)
真空保溫熱水瓶 (絕熱)
燈泡 ( 真空降低熱度傳遞 )
食物的保存 ( 真空降低氧化)

主要概念就是把一個環境內的氣體抽走，讓環境內空無一物，但實際上不可能做到空無一物，在真空技術中，一密閉容器雖保持真空，但並非" 真正的空 "，也就是說並不表示全無氣體分子，真空技術中，會依照壓力分為四個區域:

粗略真空(Rough vacuum)
中度真空(Medium vacuum)
高真空(High vacuum)
超高真空(Ultra-high vacuum)

真空的環境提供給了現代科技，一個無干擾的觀察與製作空間，EX. 半導體的製程，現在元件越做越小，已經無法透過傳統化學、液體去處理，此時就要靠更細小的氣體去達成，而在注入這些氣體之前，

必須把不要的氣體抽走，
並且防止注入的氣提不會洩漏，
還要考慮如何把製程中的廢物排出，
最後還有清潔&維修，

這都是真空技術的應用，這對要求高穩定度、高良率、高潔淨度的半導體產業來說至關重大，凡半導體的四項主要製程都會用到真空技術：

(半導體製程)

薄膜 :

切好的晶圓在先經過清洗後，會送到熱爐管內，在含氧的環境中，以加熱氧化的方式在晶圓的表面形成一層二氧化矽（SiO2）層，緊接著的氮化矽（Si3N4）層將以化學氣相沈積（CVP）的方式沈積在剛剛長成的二氧化矽上，而整個過程中，操作機器都需要抽成「真空」，所以又稱之為真空區，由於就是在晶片上覆蓋一層薄薄的薄膜，所以又叫「薄膜區」。

微影 :

本區的作用在於利用照相顯微縮小的技術，定義出每一層次所需要的電路圖，因為採用感光劑易曝光，得在黃色燈光照明區域內工作，所以又叫「黃光區」。在光刻微影過程，首先為光阻塗佈，先將適量光阻滴上基板中心，而基板是置於光阻塗佈機的「真空」吸盤上。

蝕刻 :

經過黃光定義出我們所需要的電路圖，把不要的部份去除掉，此去除的步驟就稱之為蝕刻，蝕刻製程是將電路佈局移轉到晶片上之關鍵步驟，因為它好像雕刻，一刀一刀的削去不必要不必要的木屑，最終完成作品，期間又可分成乾式蝕刻與溼式蝕刻，前者是利用氣體來化學&物理移除 (此時就需要真空的環境)、後者是利用酸液來腐蝕。

擴散 :

擴散是用來控制半導體中雜質量的關鍵程序。矽晶中一般均須加入電活性雜質原子，來控制半導體，擴散方法是使用植入雜質或雜質的氧化物作氣相附著，將雜質原子植入半導體晶圓的表面附近區域，而過程中必須先將機器抽成「真空」，才不會影響品質與穩定度。

真空幫浦、零組件的銷售與維修

日揚非常專注在其主業上，主要產品與服務都是與真空技術相關，包含真空零組件的製造、保修技術服務、代理真空泵浦銷售及技術服務等...真空系統是指在真空狀態下存在之系統，運用真空物理之特性，將真空室室內壓力降至工作所需之壓力範圍中，以達到製程需求環境之系統，特別在尖端科技上之運用，更是真空產業發展之趨勢。

比重來說，其代理銷售的日本真空幫浦，占了其 5 成以上的營收，一直是它的主力經濟來源。

真空零組件

真空獲得的結構件，將真空零組件依照特定的方式組合之後可以利用真空泵浦排出空氣來製造真空環境，真空的作用主要是為了降低蒸鍍物的沸點，避免氣體干擾產生膜層缺陷及爭取研究膜層表面的時間，真空環境已經成為現代科技不可缺少的要素。

白話理解 : 所有跟真空設備有關的零組件

真空泵

利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。一般來說，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產生和維持真空的裝置。它被大量運用半導體、光電、太陽能、機械、化工、醫療等產業。

白話理解 : 把空氣抽空的關鍵零件。

設備清洗與再生之技術服務

針對半導體設備大廠 OLED 設備零組件之週邊需求，提供客戶超潔淨清洗及表面處理之服務。

白話理解 : 用真空的方式，清理製造過程所產生的廢棄物。

真空設備

應用非常廣泛，包括切削刀具的硬化膜，表面裝飾鍍膜，抗電磁波輻射鍍膜，車燈反射層及保護層鍍膜，薄膜太陽能電池之背電極鍍膜，光學鍍膜以及耐磨抗蝕之功能膜等，必須由製程工藝配合適當的設備來完成鍍膜規格的要求。真空技術及真空設備在半導體產業更是扮演重要角色，舉凡半導體的四項主要製程：薄膜，蝕刻，黃光和擴散都少不了真空設備的使用，尤其半導體技術已經發展到奈米等級，真空零件和真空設備是關鍵要素。

白話理解 : 所有跟真空有關的設備。

空氣污染控制設備

結合自有專利 (Micro-bubble wet scrubber) 開發 Microwave Plasma Scrubber，能有效處理製程氣體全氟碳化物直接裂解、破壞與去除，效率達到 99.9%，並有效消除水中的 PFCsMicro-bubble wet scrubber，已在半導體產業業中，驗證 PM2.5 的粉塵去除率> 95％。開發 Microwave Plasma Scrubber 設備能提供客戶更具效益及環保的尾氣處理方案，協助客戶針對氣體排放能夠符合相關法規。

白話理解 : 可用於從工業廢氣流中去除某些微粒和/或氣體。

營運產生據點

台灣生產、佈局大陸，隨客戶前往美國?

日揚主要在台南與新竹生產，在大陸上海也有廠房，主要考慮到大陸的半導體正在起飛，因此比照台灣當初的模式，看能不能打入對岸的半導體供應鏈。

2023H1，公司樹谷新廠正式啟用，占地 5410 坪，第一期工程建築面積 2820 坪，該廠預計作為營運中心及製造中心，除將舊廠產線轉移至新廠，也會預留空間給子公司作為維修據點，同時擴大自行開發的Scrubber(尾氣設備)及半導體設備產線。

北美市場一直以來皆為半導體產業發展重鎮，近年指標性客戶赴美設廠，日揚也規劃在美國進行相關商業活動。已設定當地具備業務通路和工程能力的合作夥伴，開始拓展當地客戶，提供日揚的產品及服務，並委託專業公關公司藉由網站、平面媒體及展會等管道推廣日揚品牌，期待與客戶共同成長，進入一線半導體廠及設備廠的供應鏈體系。